Заявитель:

А. И. Савин А. И. Голубев

ДАТЧИК-ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДЛЯ УСТРОЙСТВА

Номер патента: 270075


3

270075

4

щении кристалла в высокочастотное электромагнитное поле, в образце наводятся
вихревые токи. Величина их определяется удельным сопротивлением образца при
известной частоте напряженности поля и размерах образца при условии, что и
диаметр однородного электромагнитного пучка меньше диаметра
образца. Добротность контура уменьшается до величины (Зь Следовательно,
разность значений С^о—<31 = А(2 при выполнении указанных условий определяется
удельным сопротивлением образца, т. е. Д(3=Д(р).
Датчик обеспечивает точность измерения ±2% благодаря выполнению полюсов в
виде усеченного конуса и расположению обмоток на некотором расстоянии от
вершины полюсов. Его можно использовать на предприятиях электронной
промышленности, выпускающих стабилитроны сплавного типа, а также в ла
бораториях при исследованиях влияния р на свойства полупроводниковых приборов.
Предмет изобретения
5 Датчик-преобразователь для устройства бесконтактного измерения удельного
сопротивления полупроводниковых пластин, представляющий собой тороидальный
ферромагнитный сердечник с зазором, на полюсы которого на-10 несена обмотка
индуктивности, отличающийся тем, что, с целью снижения ошибки измерения путем
уменьшения измеряемой площади, а также снижения ошибки измерения, определяемой
неточностью установки измеряемого 15 образца относительно тангенциальной оси
зазора, полюсы сердечника выполнены в виде усеченных конусов, длина которых
пропорциональна измеряемому удельному сопротивлению.
1

Корректор В. Трутнев

Составитель Л. Б. Пирожников Редактор Б. Б. Федотов Техред А. А. Камышникова
Заказ 2142/16    Тираж 480    Подписное
ЦНИИГ1И Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская паб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова. 2