Авторы:

ЭСЕСГ НТн
А. И. Пипко А. А. Гаврилов В. М. Комиссарчи
ЭСЕСГ НТн

УСТАНОВКА ДЛЯ ВАКУУМНОЙ ОБРАБОТКИ КАТОДНЫХ УЗЛОВ МАГНЕТРОНОВ

Номер патента: 277119


Союз Советских Социалистических Республик

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства № — Заявлено 27.ХМ.1987 (№ 1206083/26-25) с
присоединением заявки № —
Приоритет —
Опубликовано 22.V1I.1970. Бюллетень К» 24 Дата опубликования описания
29.III.1971

277119

Кл. 21г 13/31
МПК н 01)

УДК 621.385(088.8)

Авторы
изобретения
Заявитель

А. И. Пипко, А. А. Гаврилов и В. М. Комиссарии

УСТАНОВКА ДЛЯ ВАКУУМНОЙ ОБРАБОТКИ КАТОДНЫХ УЗЛОВ МАГНЕТРОНОВ
1
Изобретение относится к области производства электровакуумных приборов, в
частности приборов СВЧ.
Известна установка для 'вакуумной .обработки и проверки эмиссионных свойств
катодных узлов магнетронов, содержащая рабочую камеру, камеру предварительного
разряжения, загрузочный бокс и перемещаемый из загрузочного бокса в рабочую
камеру стол для установки изделий.
Известная установка не обеспечивает проверки термоэлектронных и вторично-
эмиссионных свойств катода в условиях сверхвысокого вакуума.
Целью данного изобретения является разработка такой конструкции установки,
которая позволила бы проводить такую проверку. Эта цель достигается за счет
того, что установка снабжена находящимся на рабочем •столе измерительных!
устройством, выполненным в виде закрепленных на изоляторах цилиндрического
анода с кольцевой щелью посредине и расположенного с внешней стороны анода на
уровне кольцевой щели кольцевого 'вольфрамового катода, причем внутренняя
поверхность анода служит коллектором вторичных и отраженных
электронов •контролируемых катодов. Для увеличения производительности установки
рабочий стол выполнен многопозиционным.
2
Фиг. I изображает общий вид установки, фиг. 2 — измерительное устройство, фиг.
3 — рабочий стол с измерительными позициями.
Установка состоит из рабочей камеры 1, 5 камеры 2 предварительного разряжения,
герметичного загрузочного бокса 3 и рабочего стола 4 с приводом 5 перемещения
стола из загрузочного бокса 3 в камеру предварительного разряжения 2 и далее в
рабочую каме-10 ру 1. Полости рабочей камеры и камеры предварительного
разряжения разделения заслонкой 6. На столе установлены коаксиальный
высоковольтный ввод 7, обрабатываемые катоды §, контактная группа накала 9 и
уст-15 ройство 10 для проверки термоэлектронной и вторично электронной эмиссии
катодов, состоящее из кольцевого вольфрамового катода 11, укрепленного на двух
изоляторах 12 и промежуточного анода 13, выполненного в виде 20 полого цилиндра
с кольцевой щелью посредине и расположенного между проверяемым катодом 8 и
катодом И измерительного устройства.
Стол постоянно электрически связан с 25 пультом питания посредством
электрических вакуумных вводов, смонтированных на панели 14 камеры
предварительного разряжения 2.
После установки катодных узлов на сто-30 ле 4 и подсоединения их к
электрическим


277119
Редактор Громов    Техред А. А. Камышникова    Корректор О. М. Ковалева
Заказ 49/288    Тираж 473    Подписное
1ДНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»